انتخاب پارامترهای فیزیکی برای المان های ارتعاشی در mems به منظور استفاده در فیلتر های میکرومکانیکی برای مدارات مخابراتی فرکانس بالا

تکنولوژی سیستم های میکرو و نانو الکترومکانیکی در سال های اخیر پیشرفت های زیادی داشته است. این سیستم ها به دلیل سایز کوچک، وزن کم و مصرف انرژی پایینشان به طور گسترده ای در محرک ها و حسگرها مورد استفاده قرار می گیرند. اعمال ولتاژ الکتریکی یکی از ساده ترین و پرکاربردترین روش های تحریک و اندازه گیری مقدار تغییر شکل در این سیستم ها می باشد. میکرو و نانو تیرهای تحریک شده با ولتاژ در دستگاه هایی چون میکرو و نانو سویچ ها، نوسانگرها، فیلترهای سیگنال، خازن های قابل تنظیم، سنسورهای فشار و جرم و ... کاربرد دارند. از این میان، ادوات مورد استفاده در مدارات مخابراتی مخصوصاً فیلترهای سیگنال به دلیل افزایش نیاز های روز افزون جهانی بسیار مورد توجه محققین و دانشمندان قرار گرفته است. البته به طور معمول ادبیات فن برای این نوع سیستم ها عموماً متشکل از تحقیقات آزمایشگاهی و مدل های مداری معادل با استفاده از روش های عملی شناسایی سیستم می باشد که روش پر هزینه و دشواری می باشد. در تحقیق حاضر با استفاده از روش های کاهش مرتبه مدال و نمایش فضای حالت سیستم ها مدل جدیدی برای حل این گونه مسائل بدون نیاز به آزمایش و مستقیماً با استفاده از شکل هندسی فیلتر ارائه شده است که می تواند در کنار کار های آزمایشگاهی در طراحی این سیستم ها بسیار مفید واقع شود.